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特种气体输送管件的种类


创建时间 2018-06-12 15:47:03

    当前在半导体制程设备中所运用的管件资料首要有不锈钢制、特氟隆、高密度聚乙烯以及聚偏二氟乙烯制等,其间在气体传输中以不锈钢制管件的使用最为广泛。

    通常在一切与制程关联的制程气体的运送上面都要使用不锈钢制管件,特氟隆制的管件首要用来传输一些不能与不锈钢制管相触摸的制程气体或高浓度的酸碱液体方面,如三氯乙烷和废硫酸等。HDPE制管件广泛使用在通常废水排放系统中。而PVDF管材首要使用在制程清除所用的高纯水管路上,这种管材契合高纯水对溶解氧、总有机物和微粒等均有严厉的需求条件。

    不锈钢制管件首要是用来传输各种制程气体的管件,尤其是一些剧毒易燃易爆的危险性气体。所以不锈钢制管件的制作和施工需求在以上几种不一样原料的管件中最为严厉。晶圆厂通常关于P级需求(ppb级)的制程气体的运送,均需求选用SUS316原料的EP管材,关于通常非制程气体的运送选用SUS316原料的BA( Bright Anneal)管材。在生物学试验中,许多试验条件及资料的处置和保管都需求极点的低温环境。液氮是供给低温的常用物质之一,可用于冻存细胞和保管疫苗等。跟着科学技术的不断发展,液氮的用处越来越广泛,在医院里也被用来进行冷疗,在金属物质的特性研讨和电子仪器方面也被广泛使用,所以用于存储液氮的容器即液氮罐,就成为生物化学与分子生物学试验室中常用的低温设备之一。

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